В ТПУ создана «чистая лаборатория» по проектированию микроэлектромеханических сенсоров

В Томском политехническом университете работает единственная за Уралом «чистая лаборатория», в которой можно проектировать и исследовать микроэлектромеханические сенсоры. К таким сенсорам относятся, например, гироскопы и акселерометры. Сегодня они используются практически во всех подвижных объектах — от смартфонов до дронов — и отвечают за автономную ориентацию объекта в пространстве без связи со спутником.

Лаборатория создана на базе отделения электронной инженерии Инженерной школы неразрушающего контроля и безопасности ТПУ и размещена в учебном корпусе №4. У этой лаборатории шестой класс чистоты. Специальные системы фильтрации воздуха удаляют из помещения все частицы пыли размером больше пяти микрон.

Оборудована лаборатория на средства Федеральной целевой программы. Вместе с оборудованием её стоимость составляет порядка 10 млн рублей. Здесь есть электронный микроскоп, термовакуумная камера, устройство для разваривания контактов в датчиках. И сама комната, и оборудование в ней российского производства. Учёные работают в этой лаборатории в специальных костюмах.

«Томский политех давно ведёт разработки в области микроэлектромеханических сенсоров. Любое современное устройство немыслимо без них — говорим ли мы о спутниках или смартфонах. Для проектирования, производства подобных систем нужны помещения с высоким классом чистоты, так как все внешние факторы влияют на конечное качество изделия, — говорит директор Инженерной школы неразрушающего контроля и безопасности ТПУ Дмитрий Седнев. — И ТПУ, как университет-лидер в развитии науки, не может остаться в стороне развития этой отрасли. У нас возникла потребность в создании такой чистой лаборатории у себя. С использованием этой комнаты наши учёные ведут исследования с индустриальными партнёрами, такими как АО „НИИПП“, начинаем сотрудничество с „Российскими космическими системами“».

Благодаря этой «чистой лаборатории» ученые ТПУ уже создали первые российские датчики для автономной навигации беспилотников, сочетающие в себя сразу три функции — гироскопа, акселерометра и магнитометра. При этом они удароустойчивые и могут работать при экстремальных температурах. Такой датчик с тремя функциями уже представляет собой полноценную автономную навигационную систему.

«Эта лаборатория позволяет нам претендовать на лидерство, по крайней мере в России, по разработке микроэлектромеханических систем нового поколения. И мы надеемся на дальнейшее развитие сотрудничества с индустрией», — отмечает Дмитрий Седнев.

XX2 век :